Datapaq SolarPaq CIGS đo nhiệt phủ chân không

TỔNG QUAN VÀ ỨNG DỤNG

SolarPaq cho CIGS theo dõi nhiệt độ nền kính khi đi qua quá trình phủ chân không nhiều buồng. Cấu hình DP5640 bốn kênh và hộp bảo vệ VB2040 đo biên dạng nhiệt tại tối đa bốn vị trí trên kính, kể cả khi plasma hoạt động.

VB2040 kết hợp các lớp phản xạ bức xạ với bộ tích nhiệt bằng thép ở giữa để bảo vệ bộ ghi trong chu trình và khi xả chân không. Hộp cao 35 mm, rộng 105 mm có thể bố trí trong khoang phù hợp của khay mang; lớp phủ gốm bên ngoài hỗ trợ duy trì đặc tính bề mặt khi sử dụng.

Theo dõi nhiệt độ kính trong điều kiện phủ plasma.
Thiết kế phản xạ nhiệt hạn chế thoát khí từ hệ bảo vệ.
Dùng Solar Insight phân tích biên dạng nhiệt và điều chỉnh quy trình CIGS.

Minh họa hệ SolarPaq cho quá trình phủ CIGS; bộ ghi và hộp bảo vệ được lựa chọn theo cấu hình.

Hộp VB2040 bảo vệ bộ ghi trong quá trình phủ CIGS.

Hộp chân không VB2040 trong tài liệu SolarPaq CIGS Rev B (11/2022).

Bộ ghi DP5640 là thành phần thu nhận tín hiệu trong cấu hình CIGS được tài liệu này mô tả.

Bộ ghi dữ liệu DP5640 trong tài liệu SolarPaq CIGS Rev B (11/2022).

Lựa chọn hệ thống và cấu hình

Kiểm tra khoang lắp cho VB2040 35 × 105 × 386 mm và khối lượng hộp bảo vệ 6 kg.

Xác định thời gian, nhiệt độ, mức chân không và điều kiện xả chân không.

Chọn đầu dò cách điện khoáng phù hợp nhiệt độ và vị trí tiếp xúc plasma.

Thông số kỹ thuật và so sánh cấu hình

Thông số bộ ghi dữ liệu

Thông số	DP5640
Số kênh	4
Loại cặp nhiệt điện	Loại K
Dải đo nhiệt độ	−100 đến 1.370 °C
Chu kỳ lấy mẫu	0,05 giây đến 10 phút
Độ chính xác	±0,5 °C
Độ phân giải	0,1 °C
Nhiệt độ vận hành bên trong tối đa	85 °C
Bộ nhớ	50.000 giá trị/kênh, 4 kênh hoạt động
Bắt đầu ghi	Nút bắt đầu/dừng; kích hoạt theo thời gian hoặc nhiệt độ
Pin	NiMH sạc lại, sạc nhanh

Hộp chân không nhiệt độ cao VB2040

Thông số	Giá trị
Bộ ghi áp dụng	DP5640
Kích thước C × R × D	35 × 105 × 386 mm
Khối lượng	6 kg
Vật liệu	Inox toàn bộ; phủ gốm chịu nhiệt bên ngoài
Cấu trúc nhiệt	Tấm phản xạ và bộ tích nhiệt thép bên trong
Thời gian tại 300 °C	150 phút
Thời gian tại 400 °C	100 phút
Thời gian tại 600 °C	50 phút
Điều kiện	Giá trị hướng dẫn trong chân không cao; xác nhận theo quy trình

Đầu dò loại K cho CIGS

Mã	Chiều dài	Vỏ/đường kính	Dải nhiệt độ
PA0710	1 m	Nicrobell; 1,6 mm	0–1.250 °C
PA0711	2 m	Nicrobell; 1,6 mm	0–1.250 °C
PA0712	3 m	Nicrobell; 1,6 mm	0–1.250 °C
PA0920	1 m	Inconel; 1,0 mm	0–1.000 °C
PA0921	2 m	Inconel; 1,0 mm	0–1.000 °C
PA0922	3 m	Inconel; 1,0 mm	0–1.000 °C

Đầu nối đầu dò cho CIGS

Theo bảng thông số SolarPaq CIGS Rev B (11/2022), PA0712 dùng đầu cắm cỡ nhỏ chịu nhiệt cao; PA0920, PA0921 và PA0922 dùng đầu cắm cỡ nhỏ bằng nhựa chịu nhiệt cao, nối trực tiếp bộ ghi. Các mã này là đầu dò loại K cách điện khoáng. Chọn theo chiều dài, vật liệu vỏ và dải nhiệt độ riêng trong bảng; không dùng giới hạn của đầu đo để suy ra giới hạn của mọi bộ phận đầu nối.

Lưu ý lựa chọn và vận hành

Các thời gian bảo vệ chỉ là hướng dẫn cho chân không cao; cần xác nhận quy trình cụ thể.

Hãng khuyến nghị đầu dò cách điện khoáng khi đầu dò tiếp xúc trực tiếp plasma.

Không suy diễn VB2040 tương thích với các model khác chỉ vì cùng họ DP5.

Danh sách bộ ghi, hộp bảo vệ, đầu dò và phần mềm trên trang là các lựa chọn cấu hình. Phạm vi giao hàng và phụ kiện tùy chọn được chốt theo mã và yêu cầu đo cụ thể trong báo giá.

Cấu hình và phụ kiện theo phạm vi tài liệu

VB1200 dùng với DQ1800 cho quá trình chân không nhiệt độ thấp, chiều cao hạn chế. Giữ nguyên mã DQ1800 của nguồn; không suy thành DQ1840 hoặc bộ ghi hiện hành từ tên dòng sản phẩm.[Nguồn 1 · tr. 2]

Nguồn tham khảo — mở / thu gọn